真空炉，即在炉腔这一特定空间内使用真空系统（由真空泵、真空丈量装置、真空阀门等元件通过精心拼装而成）将炉腔内部分物质排出，使炉腔内压强小于一个标准大气压，炉腔内空间然后完成真空状况，这便是真空炉。真空环境中进行加热的设备。在金属罩壳或石英玻璃罩密封的炉膛顶用管道与高真空泵系统联接。炉膛真空度可达133×(10-2～10-4)Pa。炉内加热系统可直接用电阻炉丝(如钨丝)通电加热，也可用高频感应加热。高温度可达3000℃左右。首要用于陶瓷烧成、真空冶炼、电真空零件除气、退火、金属件的钎焊，以及陶瓷-金属封接等。

　　作业原理

　　真空热处理即真空技能与热处理两个专业相结合的综合技能，是指热处理工艺的悉数和部分在真空状况下进行的。

　　使用

　　目前大多数真空热处理炉的作业真空度在1.33~1.33×10ˉ³Pa。真空热处理几乎可完成悉数热处理工艺，如淬火、退火、回火、渗碳、氮化，在淬火工艺中可完成气淬、油淬、硝盐淬火、水淬等，还能够进行真空钎焊、烧结、外表处理等。真空热处理炉热效率高，可完成快速升温文降温，可完成无氧化、无脱碳、无渗碳，可去掉工件外表的磷屑，并有脱脂除气等作用，然后达到外表亮光净化的效果。

　　分类

　　真空炉即真空热处理炉，根据使用设备来区分，大约包括以下种类：

　　真空淬火炉、真空钎焊炉、真空退火炉、真空加磁炉、真空回火炉、真空烧结炉、真空扩散焊炉、真空渗碳炉等。

　　真空炉按加热方式分为真空电阻炉、真空感应炉、真空电弧炉、真空自耗电弧炉、电子束炉（又称电子轰击炉）和等离子炉等。