真空炉是指使用真空系统(由真空泵、真空测量装置、真空阀等组成)的设备。排出炉内空气，使炉内压力小于一个标准大气压，炉内空间达到真空状态，然后加热相关产品。

　　真空炉的结构及示意图

　　真空炉由炉腔、加热元件、温控系统、真空系统、水冷系统和密封炉壳组成。广泛用于陶瓷材料、陶瓷-金属复合材料、难熔金属和合金材料的高温真空烧结、退火、回火和时效处理，以及合金工具和超硬材料的真空钎焊。

　　真空炉炉膛

　　真空炉主要分为不锈钢炉、陶瓷纤维炉、钼箔炉和石墨炉。额定温度从750℃到2200℃。

　　真空炉加热元件

　　真空炉加热元件主要分为:电阻丝、硅碳棒、钼丝钼棒、硅钼棒、石墨、感应线圈等。高温度从750℃到2200℃。

　　温度控制系统

　　真空炉的温度控制系统主要由热电偶(测量温度)和温度控制器(控制温度)组成。主要分为PID可编程控制、触摸屏控制和PLC自动控制。

　　真空系统

　　真空系统根据所需的真空度由真空阀、机械泵、扩散泵和罗茨泵组成。大真空度一般为7×10-3 Pa。

　　水冷系统

　　根据炉子的大小，需要配套的水冷系统来保证真空炉的正常运行。

　　密封炉壳

　　炉壳的焊接需要良好的密封性能，以保证能达到设计的真空度。

　　真空炉原理

　　真空炉的原理是先通过真空系统抽空气，使炉子达到真空状态。然后，加热元件产生热量，温控系统控制加热速度和保温时间，从而加热烧制材料制品。