真空炉的真空系统工作时，首先要发动机械泵、维持泵和扩散泵，一起翻开前级阀和维持泵阀，对扩散泵内进行抽真空。当真空度抵达体系某一设定值时，罗茨泵发动，一起旁路阀翻开，前级阀封闭，此刻对真空室进行抽低真空当扩散泵加热至规则温度并且真空度高于规则值时，高阀翻开，旁路阀封闭，前级阀翻开。此刻对真空室抽高真空，抵达工艺要求的真空度以后，方可进行热处理工作。热加工进程完结后，由热交换器对真空室充入高纯氮气进行强制冷却，完结整个工艺过程。

　　真空炉的电器故障分析：

　　真空炉温度过高报警：

　　1.主要查看地点工作区温控器参数是否正常，参阅其他正常运用中的温控器校正所有参数。

　　2.依据电路图查看相应工作区的固态继电器输出端是否被击穿。可在停电后，用万用表电阻档测量固态继电器输出端两点之间的电阻，正常时，电阻会有几兆欧以上，假如被击穿，则几乎没有电阻，必须按同类型换上新的。

　　3.在通电开机的状况下，用手轻摇相应工作区内的热电偶探头，看看所对应的温控器显现是否跳动幅度很大，假如有此现象，则阐明热电偶探头接触不良，需更换新的。

　　真空炉显现温度偏低：

　　1.首要查看地点工作区温控器的参数是否正常，是否有输出信号。

　　2.查看所对应工作区的热电偶是否受损，为了验证这些热电偶是否良好，可将它们跟正常温控器上的热电偶交换接到温控器上，观察温度显现状况。假如确实是热电偶损坏，必须更换。

　　3.假如温控器、热电偶都没问题，则需要测验发热管是否正常通电工作。可在通电开机后，发动加热，依据电路图，直接用试电笔测验对应工作区的发热管衔接的导线，看是否有电到。假如有电抵达，还需要用钳表测量一下电流是否与其他工作区的不同，正常状况差异不大。

　　4.假如没有电抵达，则必须按电路图对电路逐个查看。